研微半导体完成A轮首批数亿元融资,由多家头部产业投资机构联合领投
研微半导体
作者: 研微半导体获A轮首批数亿元融资,用于设备技术迭代等,推动半导体高端设备国产替代。
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融资动态:资本持续加码产业化进程
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技术突破:核心设备国产化里程碑
金属ALD设备:2024年11月研微交付首台300mm金属原子层沉积设备,技术上已达到国际领先水平,能够有效应对制程推进和线宽缩小所带来的电阻率上升问题,成功填补国内空白金属原子层沉积领域的空白,一举解决这一长期困扰行业发展的难题。
PEALD设备:2025年4月单月实现“双交付”:研微Auratus设备同期交付国内头部逻辑芯片企业及先进封装客户,历时18个月全面覆盖逻辑、存储、先进封装三个赛道,为半导体芯片制造提供完整的解决方案。
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关于研微半导体
研微半导体聚焦高端ALD、PECVD以及特色外延设备研发,生产具有自主知识产权且具备国际竞争力的产品,涵盖Thermal ALD、PEALD、SI EPI、SiC EPI 、PECVD等,核心团队由国际头部设备企业前资深专家领衔,研发人员硕博占比超60%,产品广泛应用于高端集成电路、功率器件、射频元件及先进封装领域。

责任编辑: 沐锦