华睿战略投资航菱微，深化布局半导体装备行业

近日，省装备母基金旗下华睿装备子基金完成对半导体精密零部件企业航菱微（嘉兴）精密制造有限公司（简称“航菱微”）的战略投资，推动航菱微总部及新增产能落地嘉兴南湖。本轮投资人由华睿装备子基金领投，嘉兴南湖产业基金及半导体产业投资人跟投，这是华睿投资在半导体高端装备领域的又一布局。

公司简介

航菱微成立于2017年，是一家专注于半导体设备精密结构/工艺零部件研发、制造与销售的专精特新企业。公司主营业务涵盖湿法设备结构模组、干法设备工艺零部件及特殊涂层三大板块，正逐步成长为国内少数实现"湿法模组+干法零部件+精密涂层"垂直整合的半导体零部件供应商。

半导体设备是半导体制造的基石，而精密零部件则是半导体设备的"骨骼与血脉"。半导体设备零部件具有多品种、小批量、高精度、高洁净度的特点，直接决定设备的可靠性、稳定性和工艺良率。在晶圆制程向先进节点迈进的背景下，零部件的精密度、洁净度要求持续提升，技术壁垒日益凸显。

当前，国内半导体设备行业已形成"一超多强"格局，北方华创、中微公司等企业正加速资源整合，完善整线布局。设备厂商对供应商的响应能力、产品体系布局提出更严苛诉求，精密涂层能力成为国产供应链待补足的关键短板之一。与此同时，中芯国际及"两长"（长江存储、长鑫存储）扩产背景下，核心零部件国产化已成为产业链自主可控的关键，发展趋势良好。

华睿投资认为：半导体设备零部件是国产替代链条中"卡脖子"的关键环节，具有高技术壁垒、高客户粘性、高毛利特征。航菱微团队产业经验丰富，垂直整合能力强，湿法业务稳健，干法业务突破在即，涂层布局前瞻，具备成为平台级零部件供应商的潜力。华睿投资将充分发挥产业资源优势，助力航菱微完善产能布局，深化客户合作，加速国产替代进程。

责任编辑： 星月